本发明提供的一种具有冷却功能的抛光装置，包括：抛光盘具有上下贴合连接的第一盘体和第二盘体，第二盘体上开设有用于传感器穿过的避让孔；旋转轴连接在第二盘体上，用于驱动抛光盘旋转；冷却回路呈螺旋状盘布在第一盘体与第二盘体之间,冷却回路中适于流通冷却液；冷却回路的进/回液口均连通有软管，该软管穿过旋转轴的穿轴孔后、适于与冷却液箱连通；冷却回路对避让孔进行绕包，冷却液先流经绕包在避让孔周向的冷却回路；驱动组件至少部分设于旋转轴上，用于驱动旋转轴转动。本发明的冷却回路能够对抛光盘进行循环冷却，降低因热影响抛光液的化学反应；避让孔被冷却回路绕包，能够对传感器进行充分冷却，减小因安装传感器导致的散热不均问题。