一种抛光冷却装置和化学机械抛光设备
授权
摘要
本实用新型公开了一种抛光冷却装置和化学机械抛光设备，其中，抛光冷却装置包括冷却辊、滑动连接机构、旋转接头、基座、流体管路和驱动机构；冷却辊包括圆柱状的具有内部中空结构的杆体，冷却辊由高导热率材料制成以通过流体管路内流通的低温流体使杆体保持低温，冷却辊设于抛光垫上方并可下移至与抛光垫表面接触或与抛光垫表面的抛光液接触，从而使低温的杆体与转动的抛光垫接触时在摩擦力的作用下地自由滚动进而对抛光垫或抛光液进行冷却。
基本信息
专利标题 ：
一种抛光冷却装置和化学机械抛光设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021815327.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-27
授权号 ：
CN211589747U
授权日 ：
2020-09-29
发明人 ：
孟松林李硕其他发明人请求不公开姓名
申请人 ：
华海清科（北京）科技有限公司
申请人地址 ：
北京市大兴区经济技术开发区地盛北街1号院40号楼11层1107室
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202021815327.1
主分类号 ：
B24B55/02
IPC分类号 ：
B24B55/02 B24B37/34 B24B37/015 B24B37/10
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B55/00
用于磨床或抛光机的安全装置；配合磨床或抛光机使磨具或机械部件保持良好工作状态的附件
B24B55/02
用于冷却磨削面的设备，如送进冷却液装置
法律状态
2020-09-29 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
