本实用新型涉及一种抛光液冷却装置，属于半导体材料抛光技术领域。其包括供液桶、水冷箱、水泵，供液桶的桶壁是由内壁、中间壁和外壁构成的三层结构，三层结构的内壁形成储液腔，三层结构的内壁和中间壁之间形成出液腔，三层结构的中间壁和外壁之间形成冷却腔，在出液腔的内壁上开设有一个或多个出液孔，在出液腔顶部设有出液管，入水管接头通过管道与水泵出液口相接，水泵入液口通过管道与水冷箱出水口相接，出水管接头通过管道与水冷箱入水口相接。本实用新型通过设置三层结构桶壁，将抛光液冷却装置分为储液腔、出液腔和冷却腔三个腔室，使得抛光液冷却装置能对待使用的抛光液快速降温后循环利用，结构简单、冷却效果好、实用性强。