用于碳化硅抛光的抛光液冷却自动化系统
公开
摘要
本发明涉及半导体材料抛光技术领域，且公开了用于碳化硅抛光的抛光液冷却自动化系统，包括基座以及位于基座上的辅冷却箱、过滤箱以及主冷却箱，所述主冷却箱上还安装有散热盒，且散热盒上设置有用于连通主冷却箱的散热孔，所述主冷却箱内设置有第一冷却组件，所述第一冷却组件包括散热风扇、转管以及搅拌管，所述转管与所述散热盒之间转动连接，所述转管一端与搅拌管一端连接，转管另一端上转动密封连接有冷却液进管，搅拌管另一端与基座转动连接，且搅拌管另一端上还转动密封连接有冷却液出管，所述散热风扇位于散热盒内；本发明，通过设置的第一冷却组件与过滤组件等的配合使用，能够提高抛光液的冷却效率。
基本信息
专利标题 ：
用于碳化硅抛光的抛光液冷却自动化系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114562897A
申请号 ：
CN202210229909.9
公开（公告）日 ：
2022-05-31
申请日 ：
2022-03-09
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
许华平陆沛钒裴悠松李钟海
申请人 ：
南通元兴智能科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省开发区晨阳路19号
代理机构 ：
北京广溢知识产权代理有限公司
代理人 ：
李枝玲
优先权 ：
CN202210229909.9
主分类号 ：
F28D7/08
IPC分类号 ：
F28D7/08 F28F19/01 F28F13/12 B01D29/64 B01D29/35 B24B55/02
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F28
一般热交换
F28D
其他小类中不包括的热交换设备，其中热交换介质不直接接触的
F28D
其他小类中不包括的热交换设备，其中热交换介质不直接接触的
F28D7/00
用于两种热交换介质的固定管状通道组件的热交换装置，各种介质与通道壁不同的侧面接触
F28D7/08
通道为其他弯曲形式的，例如蛇形或锯齿形的
法律状态
2022-05-31 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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