一种抛光液搅拌装置
授权
摘要

本实用新型提供了一种抛光液搅拌装置,涉及抛光液设备技术领域,包括搅拌箱以及搅拌机构,搅拌箱包括设置在搅拌箱顶端的进液口以及设置在搅拌箱底端的出液口,出液口上设置有与其螺纹连接的输液管,搅拌机构包括固定安装在搅拌箱顶端的搅拌电机,搅拌轴以及搅拌杆,搅拌轴上设有多个固定孔,搅拌杆包括通过螺栓固定在固定孔上的第一搅拌杆以及与搅拌箱一体成型并设置在搅拌箱内侧的第二搅拌杆,出液口上设置有过滤网。本实用新型通过搅拌电机带动搅拌轴及第一搅拌杆旋转,从而带动搅拌箱内的抛光液转动,搅拌箱内侧的搅拌杆也对抛光液具有搅拌作用,可以对搅拌箱内的各个角落进行充分搅拌,保证了后续对半导体材料的研磨抛光质量。

基本信息
专利标题 :
一种抛光液搅拌装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921761461.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-10-21
授权号 :
CN211514188U
授权日 :
2020-09-18
发明人 :
伊观兰
申请人 :
天津西美科技有限公司
申请人地址 :
天津市河东区大王庄七纬路83号(第二层B区第212房间)
代理机构 :
天津展誉专利代理有限公司
代理人 :
刘红春
优先权 :
CN201921761461.5
主分类号 :
B01F7/18
IPC分类号 :
B01F7/18  B01F15/02  B01F15/00  B01F3/22  
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01F
混合,例如,溶解、乳化、分散
B01F7/00
在固定容器内具有旋转搅拌装置的混合机;糅合机
B01F7/16
具有绕一个垂直轴旋转的搅拌器的
B01F7/18
带桨翼或旋臂的
法律状态
2020-09-18 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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