本实用新型提供一种抛光液配置装置，粗抛单元包括粗抛原液组和粗抛混合桶，粗抛原液组与粗抛混合桶连通，粗抛混合桶与抛光机连通；精抛单元包括精抛原液组和精抛混合桶，精抛原液组与精抛混合桶连通，精抛混合桶与抛光机连通；表面活性单元包括表面活性原液组和表面活性混合桶，表面活性原液组与表面活性混合桶连通，表面活性混合桶与抛光机连通；纯水单元与粗抛混合桶、精抛混合桶和表面活性混合桶连通；在粗抛混合桶、精抛混合桶和表面活性混合桶内均设有循环泵，当纯水溶剂配置完毕后开始滴定原液溶质时循环泵开始循环工作。本实用新型可自动控制抛光液配置比例，改善硅片表面质量，自动化程度高，生产效率高。