一种配气系统及配气方法
实质审查的生效
摘要
本发明涉及一种配气系统及配气方法,配气系统包括配气组件、测试腔和真空泵,所述配气组件包括背景气瓶、混合腔和至少一个目标气瓶,所述目标气瓶通过对应的目标气路和所述混合腔连通,所述背景气瓶通过背景气路和所述混合腔连通,所述目标气路上设有第一阀门,所述背景气路上设有第二阀门,所述测试腔一端通过换气管路和所述混合腔连通,所述换气管路上设有第三阀门,所述测试腔另一端和所述真空泵连接,所述真空泵用于对所述混合腔抽真空,所述混合腔内设有第一气压计,所述第一气压计用于监测所述混合腔中的气体压强。通过采用分压控制可以提高混合气体各组分浓度的控制精度,提高气体稀释倍数,缩短配气时间,实现痕量多组分混合气体配制。
基本信息
专利标题 :
一种配气系统及配气方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114432944A
申请号 :
CN202210099554.6
公开(公告)日 :
2022-05-06
申请日 :
2022-01-27
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
赵蒙高炬
申请人 :
苏州科技大学
申请人地址 :
江苏省苏州市学府路99号
代理机构 :
广州三环专利商标代理有限公司
代理人 :
王若愚
优先权 :
CN202210099554.6
主分类号 :
B01F33/70
IPC分类号 :
B01F33/70 B01F23/10
法律状态
2022-05-24 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B01F 33/70
申请日 : 20220127
申请日 : 20220127
2022-05-06 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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