回转夹持装置
实质审查的生效
摘要

本发明涉及半导体技术领域,提供一种回转夹持装置。上述的回转夹持装置,包括:金属夹持工具用于与驱动机构连接,以驱动金属夹持工具旋转;管材的第一端由金属夹持工具夹持,管材的第二端用于伸入晶体生长设备内,管材的熔化或软化温度高于晶体生长设备的加热温度。本发明提供的回转夹持装置,通过采用金属材料制作金属夹持工具,满足了精密机械加工的需求;管材采用耐高温材料可以在晶体生长设备内动作,金属夹持工具位于晶体生长设备低温区,管材的一端位于晶体生长设备高温区,实现了管材与金属夹持工具无需调整即可达到高同轴度,且传递一定旋转力矩的目的,解决了现有技术中单纯采用金属材料或陶瓷材料无法满足半导体材料制作需求的问题。

基本信息
专利标题 :
回转夹持装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114346938A
申请号 :
CN202210101931.5
公开(公告)日 :
2022-04-15
申请日 :
2022-01-27
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
杨帆贾宁波汤三奇盛丽娜王苗王涛席守智
申请人 :
陕西迪泰克新材料有限公司
申请人地址 :
陕西省咸阳市西咸新区秦汉新城周陵新兴产业园区天工一路东段8号-1
代理机构 :
北京路浩知识产权代理有限公司
代理人 :
邹义威
优先权 :
CN202210101931.5
主分类号 :
B25B11/00
IPC分类号 :
B25B11/00  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B25
手动工具;轻便机动工具;手动器械的手柄;车间设备;机械手
B25B
不包含在其他类目中的用于紧固、连接、拆卸或夹持的工具或台式设备
B25B11/00
不包含在B25B1/00至B25B9/00各组中的工件夹持装置或定位装置,例如,磁性工件夹持装置、真空夹持装置
法律状态
2022-05-03 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B25B 11/00
申请日 : 20220127
2022-04-15 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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