本发明提供一种基于变离焦量激光诱导击穿光谱的材料成分面分析方法，该方法效率高且对技术人员的操作水平要求较低，适用于对材料成分测试精度要求低于无离焦状态时的测量结果但高于不考虑待检测表面粗糙状态时的测量结果。本发明提出首先确定激光脉冲不同离焦状态对材料成分信息测量结果的定量影响关系，然后采用相同的激光光束与材料表面相对距离，在存在离焦量的情况下，对待检测材料表面进行成分检测，最后利用所述的离焦量与成分信息测量结果定量影响关系对离焦状态下获得的测试结果进行修正预测。