一种遥测式激光诱导击穿光谱检测系统
授权
摘要

本实用新型公开了一种遥测式激光诱导击穿光谱检测系统,包括激光烧蚀装置、激光光斑整形组件、聚焦收集光路镜组和光谱探测分析装置;激光光斑整形组件与聚焦收集光路镜组共轴设置,光谱探测分析装置位于激光光斑整形组件和聚焦收集光路镜组之间;激光光斑整形组件用于将激光烧蚀装置发射出的激光光束的光斑整形为空心激光光斑,聚焦收集光路镜组用于将整形后的激光光束聚焦于待检测物料表面进行烧蚀,还用于将烧蚀产生的等离子体光进行收集并传输给光谱探测分析装置,光谱探测分析装置用于对等离子光进行探测分析。本实用新型的检测系统能够使激光光束能量集中在光斑边缘,以提高激光能量的利用效率,同时降低垂直反射激光对器件造成的损伤。

基本信息
专利标题 :
一种遥测式激光诱导击穿光谱检测系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202220840101.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2022-04-13
授权号 :
CN216622173U
授权日 :
2022-05-27
发明人 :
潘从元贾军伟张亮王腾飞
申请人 :
合肥金星智控科技股份有限公司
申请人地址 :
安徽省合肥市高新区皖水路228号1幢生产楼
代理机构 :
北京知联天下知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
张迎新
优先权 :
CN202220840101.X
主分类号 :
G01N21/71
IPC分类号 :
G01N21/71  G01N21/01  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段,即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/62
所测试的材料在其中被激发,因之引起材料发光或入射光的波长发生变化的系统
G01N21/71
热激发的
法律状态
2022-05-27 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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