一种激光诱导击穿光谱增强检测装置及其检测方法
公开
摘要
本发明涉及一种激光诱导击穿光谱增强检测装置及其检测方法,与现有技术相比解决了激光诱导击穿光谱灵敏度低的缺陷。本发明包括激光激发系统和光谱收集系统,激光激发系统输出的光束经光束整形器整形成线光束,还包括光谱增强组件,所述的光谱增强组件包括微型聚焦透镜阵列和微型腔体,线光束经微型聚焦透镜阵列分成若干个聚焦点经微型腔体后在被测样品表面形成聚焦线阵。本发明采用光谱增强组件将双脉冲激发、线激发和腔约束相集成,且辅以惰性气体环境,提高了激光击穿光谱测量的准确性,提高了激光诱导击穿光谱技术的检测灵敏度和检测准确性。
基本信息
专利标题 :
一种激光诱导击穿光谱增强检测装置及其检测方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114577780A
申请号 :
CN202210212202.7
公开(公告)日 :
2022-06-03
申请日 :
2022-03-04
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
汪六三王儒敬刘洋黄子良郑世健
申请人 :
中国科学院合肥物质科学研究院
申请人地址 :
安徽省合肥市蜀山区蜀山湖路350号
代理机构 :
合肥国和专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
张祥骞
优先权 :
CN202210212202.7
主分类号 :
G01N21/71
IPC分类号 :
G01N21/71 G01N21/01
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段,即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/62
所测试的材料在其中被激发,因之引起材料发光或入射光的波长发生变化的系统
G01N21/71
热激发的
法律状态
2022-06-03 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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