一种垂直式MEMS直针插针装置及其插针方法
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种垂直式MEMS直针插针装置及其插针方法；插针装置包括上固定结构、下固定结构、平移结构、锁止结构、垫手结构、滑轨结构、定位导向结构、视觉检测结构；插针装置被配置成，在工作位置、所述滑轨结构带动所述垫手凸台移动到探针卡上面时，所述第一高度始终小于所述第二高度，所述垫手凸台至少部分覆盖在所述探针卡的正上方。本方案依靠结构简单但是可靠性、精度极高的机械结构，来实现了MEMS直针在插针时能确保上盖板、下盖板稳定、无偏移得分开，不会发生弯针、重复对位、效率低下等问题，其成本低、精度高、结构巧妙，确保MEMS直针这种具有特殊结构探针的插针成品率。
基本信息
专利标题 ：
一种垂直式MEMS直针插针装置及其插针方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114487780A
申请号 ：
CN202210106619.5
公开（公告）日 ：
2022-05-13
申请日 ：
2022-01-28
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
于海超徐兴光周培清
申请人 ：
强一半导体（苏州）有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市工业园区东长路18号39幢2楼
代理机构 ：
苏州创元专利商标事务所有限公司
代理人 ：
徐丹
优先权 ：
CN202210106619.5
主分类号 ：
G01R31/28
IPC分类号 ：
G01R31/28 G01R1/067
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R31/28
•电路的测试，例如用信号故障寻测器
法律状态
2022-05-31 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01R 31/28
申请日 : 20220128
申请日 : 20220128
2022-05-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
