MEMS光学偏转器件
实质审查的生效
摘要
本发明提供一种MEMS光学偏转器件，包括：基座、2N个悬臂梁致动器、2N个耦合结构及反射微镜，其中N≥1；每个悬臂梁致动器包括：致动器衬底、致动结构、第一柔性结构；基座与致动器衬底固定连接；致动结构与致动器衬底连接；第一柔性结构与致动器衬底固定连接；第一柔性结构与一个耦合结构固定连接；2N个耦合结构固定连接于反射微镜的下方；2N个悬臂梁致动器沿周向分布于反射微镜的下方周围，且每两个悬臂梁致动器沿直线分布。通过在每一个第一柔性结构的一端均设置一个耦合结构，当沿直线分布的两个悬臂梁致动器同时产生致动力使反射微镜旋转时，两个悬臂梁致动器的旋转轴与反射微镜共轴，光的入射点在偏转过程中不会发生偏移。
基本信息
专利标题 ：
MEMS光学偏转器件
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114415365A
申请号 ：
CN202210112102.7
公开（公告）日 ：
2022-04-29
申请日 ：
2022-01-29
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
武震宇王栎皓刘艺晨汪洋余子昊
申请人 ：
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请人地址 ：
上海市长宁区长宁路865号
代理机构 ：
上海光华专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
贺妮妮
优先权 ：
CN202210112102.7
主分类号 ：
G02B26/10
IPC分类号 ：
G02B26/10 G02B26/08
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B26/00
利用可移动的或可变形的光学元件控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的光学器件或装置，例如，开关、选通或调制
G02B26/08
控制光的方向
G02B26/10
扫描系统
法律状态
2022-05-20 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G02B 26/10
申请日 : 20220129
申请日 : 20220129
2022-04-29 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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