光学器件
授权
摘要
在光学器件中，基体和可动部由从规定方向上的一侧起依次具有第1半导体层、绝缘层和第2半导体层的半导体基片构成。基体由第1半导体层、绝缘层和第2半导体层构成。可动部具有由第2半导体层构成的配置部。光学功能部配置在配置部的一侧的表面上。构成基体的第1半导体层比构成基体的第2半导体层厚。基体的一侧的表面位于比光学功能部靠一侧。
基本信息
专利标题 ：
光学器件
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110809728A
申请号 ：
CN201880041551.9
公开（公告）日 ：
2020-02-18
申请日 ：
2018-07-06
授权号 ：
CN110809728B
授权日 ：
2022-06-07
发明人 ：
铃木智史港谷恭辅杉本达哉藏本丰柴山胜己细川畅郎
申请人 ：
浜松光子学株式会社
申请人地址 ：
日本静冈县
代理机构 ：
北京尚诚知识产权代理有限公司
代理人 ：
杨琦
优先权 ：
CN201880041551.9
主分类号 ：
G02B26/00
IPC分类号 ：
G02B26/00 B81B3/00 G01B9/02 G01J3/45 G02B7/198
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B26/00
利用可移动的或可变形的光学元件控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的光学器件或装置，例如，开关、选通或调制
法律状态
2022-06-07 ：
授权
2020-03-13 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G02B 26/00
申请日 : 20180706
申请日 : 20180706
2020-02-18 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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