本发明涉及一种电子束选区熔化增材制造成形方法及装置，成形方法至少包括以下步骤：按粉末层厚铺粉，开启电子束流预热，同时启动平面超声波发生器按照预设频率和幅值发射超声波，施加在粉末层；实时监测粉末层与大地之间的采样电压，采样电压与预设的电压阈值比较，当采样电压大于所述电压阈值时，保持当前超声波频率和幅值；当采样电压小于或等于电压阈值时，增大超声波频率和幅值；粉末层达到预热温度后，电子束流预热和平面超声波发生器均关闭；开启电子束流熔化加工程序，基于所述采样电压，实时调整束流给定值，确保输出的束流大小恒定不变；完成一次粉末层熔化增材制造成形，加工平台下降一个粉末层厚的距离，进入下一个加工周期。