一种变温异质界面接触电阻率测试装置与测试方法
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种变温异质界面接触电阻率测试装置与测试方法,测试装置包括探针测试平台,用于控制微米探针在待测样品表面的扫描;包括:微米探针座,用于夹持微米探针;变温夹持台架,用于夹持和加热待测样品;图像采集模组,用于采集待测样品的表面图像信息;位移控制单元,用于控制微米探针在待测样品表面的移动;包括X位移模组、Y位移模组和Z位移模组;其中X位移模组和Z位移模组与微米探针座相连,Y位移模组与变温夹持台架相连;电阻测量单元,与变温夹持台架和微米探针相连。本发明采用三探针法、加热控温技术和机器视觉对探针定位进行精确矫正,可精确测量不同温场工况下的电极材料与热电材料间的界面接触电阻率。
基本信息
专利标题 :
一种变温异质界面接触电阻率测试装置与测试方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114487607A
申请号 :
CN202210132524.0
公开(公告)日 :
2022-05-13
申请日 :
2022-02-14
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
刘睿恒凌奕锋刘欢冯江河
申请人 :
深圳先进电子材料国际创新研究院
申请人地址 :
广东省深圳市宝安区福永街道龙王庙工业区
代理机构 :
北京市诚辉律师事务所
代理人 :
范盈
优先权 :
CN202210132524.0
主分类号 :
G01R27/08
IPC分类号 :
G01R27/08
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01R
测量电变量;测量磁变量
G01R27/00
测量电阻、电抗、阻抗或其派生特性的装置
G01R27/02
电阻、电抗、阻抗或其派生的其他两端特性,例如时间常数的实值或复值测量
G01R27/08
通过测量电流和电压来测量电阻
法律状态
2022-05-31 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01R 27/08
申请日 : 20220214
申请日 : 20220214
2022-05-13 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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