一种分光与探测一体化的短波红外光谱探测器
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种分光与探测一体化的短波红外光谱探测器，其结构自下而上由硅基读出电路、In柱互联层、InGaAs光敏芯片、衬底、集成微腔分光结构阵列组成。本发明中，集成微腔分光结构阵列是基于法布里珀罗(FP)光学微腔原理的多通道集成分光器件。每个分光结构与相应InGaAs光敏芯片像元一体化集成，使每个探测器像元同时具备选频分光和探测能力，构成分光与探测一体化的的短波红外光谱探测器。该探测芯片构成了最小化的短波红外光谱探测组件，具有分光与探测一体，光谱通道可以灵活设计、自由组合，稳定性高、工艺兼容等优点。
基本信息
专利标题 ：
一种分光与探测一体化的短波红外光谱探测器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114551489A
申请号 ：
CN202210133188.1
公开（公告）日 ：
2022-05-27
申请日 ：
2022-02-11
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
王少伟玄志一刘清权陆卫
申请人 ：
中国科学院上海技术物理研究所
申请人地址 ：
上海市虹口区玉田路500号
代理机构 ：
上海沪慧律师事务所
代理人 ：
郭英
优先权 ：
CN202210133188.1
主分类号 ：
H01L27/146
IPC分类号 ：
H01L27/146
法律状态
2022-06-14 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 27/146
申请日 : 20220211
申请日 : 20220211
2022-05-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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