近-远红外宽光谱超晶格探测器
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种近‑远红外宽光谱超晶格探测器，包括：衬底；形成在衬底上的缓冲层；在缓冲层上依次叠层设置的甚长波红外探测器、中波红外探测器和短波红外探测器；甚长波红外探测器与中波红外探测器之间依次设置有P+隧道结、N+隧道结，使甚长波红外探测器与中波红外探测器同时响应；中波红外探测器与短波红外探测器之间设置有载流子势垒阻挡层。本发明提供的探测器可以同时完成短红外波段、中红外波段、甚长波红外波段的探测，满足1μm～16μm宽光谱红外探测的要求。本发明提供的探测器通过设置甚长波通道空穴势垒层和载流子势垒阻挡层，可以降低探测器器件的暗电流，提高探测率。
基本信息
专利标题 ：
近-远红外宽光谱超晶格探测器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114464632A
申请号 ：
CN202210125761.4
公开（公告）日 ：
2022-05-10
申请日 ：
2022-02-10
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
崔素宁牛智川蒋洞微王国伟徐应强吴东海郝宏玥陈伟强蒋俊锴
申请人 ：
中国科学院半导体研究所
申请人地址 ：
北京市海淀区清华东路甲35号
代理机构 ：
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 ：
吴梦圆
优先权 ：
CN202210125761.4
主分类号 ：
H01L27/144
IPC分类号 ：
H01L27/144 H01L31/0304 H01L31/0352 H01L31/101
法律状态
2022-05-27 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 27/144
申请日 : 20220210
申请日 : 20220210
2022-05-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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