本发明的第一方面涉及高纯电子级乙醇生产方法及装置，装置包括：按工业级乙醇进料到高纯电子级乙醇出料的方向串接的微过滤器和阴阳离子脱除器组；其中，所述微过滤器和阴阳离子脱除器组之前串接精密精馏塔时，所述微过滤器和阴阳离子脱除器组之后串接精密精馏塔、脱水器和纳过滤器组或脱水器和纳过滤器组；所述微过滤器和阴阳离子脱除器组之前没有串接精密精馏塔时，所述微过滤器和阴阳离子脱除器组之后串接精密精馏塔、脱水器和纳过滤器组或脱水器和纳过滤器组或精密精馏塔和脱水器组；本发明的有益效果在于：提供了一种流程短，能耗低，分离效果好，工艺连续性强，纯度高，杂质含量低的超净高纯乙醇生产方法及装置。