一种芯片老化试验装置

授权

摘要

本发明涉及一种芯片老化试验装置，包括箱体、至少一个测试组件，每个测试组件均包括测试腔、循环风道、第一蜂窝板、第二蜂窝板，测试腔内设有若干测试区，每个测试区的两侧内壁均开设有出风口和回风口，第一蜂窝板设置在出风口的沿气流方向的上游的一侧，第二蜂窝板设置在回风口的沿气流方向的下游的一侧，循环风道中与出风口相对的内壁设有导流板，每个导流板均从远离出风口的一侧向靠近的一侧由气流方向的上游向下游倾斜设置，每个位于下游的导流板长度均大于位于上游的导流板长度。本发明可以满足大批量芯片紧密排列进行老化测试时的高散热需求，还可以确保每个芯片所处的测试环境一致，提高了测试效率和测试结果的准确性。

基本信息

专利标题：

一种芯片老化试验装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN114184940A

申请号：

CN202210140273.0

公开（公告）日：

2022-03-15

申请日：

2022-02-16

授权号：

CN114184940B

授权日：

2022-05-20

发明人：

刘冬喜陈宽勇

申请人：

海拓仪器（江苏）有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市吴江区松陵镇友谊村14组

代理机构：

苏州唯思而迈专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

李婧宇

优先权：

CN202210140273.0

主分类号：

G01R31/28

IPC分类号：

G01R31/28