本发明公开了一种用于掩膜电解加工的自吸式冲液加工装置，包括掩模板、夹具体、旋转轮以及孔板式阴极。夹具体设有进液口和出液口；所述的掩模板与夹具体形成相对密闭的电解液流道腔；所述电解液流道腔被孔板式阴极隔成排液腔和反应腔，所述排液腔包括一个以上的独立封闭的泵室，泵室内设有旋转轮，泵室设有出液口，所述出液口位于旋转轮背离孔板式阴极的一侧；所述进液口连通反应腔且只能够使电解液单向进入，所述旋转轮只能够使电解液单向流出出液口；所述旋转轮转动时，电解液从反应腔透过孔板式阴极吸入泵室。本发明通过在排液腔内通过旋转轮和隔板形成自吸泵抽取电解液，实现自吸式冲液掩膜电解加工，提高电解液传质速率。