甩干机的烘干系统、方法、设备、存储介质及甩干机
实质审查的生效
摘要

本申请涉及半导体制造领域,具体而言,涉及一种甩干机的烘干系统、方法、设备、存储介质及甩干机,甩干机的烘干系统包括甩干桶,还包括:吹扫机构,用于送入吹扫气体;加热机构,用于加热吹扫气体和甩干桶;气体流量调节机构,用于调节吹扫气体的流量;温度湿度传感器,用于测量甩干桶内的温度信息和湿度信息;控制器,用于获取温度信息和湿度信息;在湿度信息大于预设湿度阈值,且温度信息小于或等于预设温度阈值时,减小吹扫机构中吹扫气体的流量;在湿度信息大于预设湿度阈值,且温度信息大于预设温度阈值时,增大吹扫机构中吹扫气体的流量,本申请提出的烘干系统可自动调节吹扫气体流量,实现了甩干机自动化烘干,并提高能源利用率。

基本信息
专利标题 :
甩干机的烘干系统、方法、设备、存储介质及甩干机
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114485093A
申请号 :
CN202210146404.6
公开(公告)日 :
2022-05-13
申请日 :
2022-02-17
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
盛飞龙吴彩庭戴科峰伍三忠吴帆徐俊
申请人 :
季华恒一(佛山)半导体科技有限公司
申请人地址 :
广东省佛山市南海区桂城街道环岛南路28号季华实验室B1栋5层507室
代理机构 :
佛山市海融科创知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
陈志超
优先权 :
CN202210146404.6
主分类号 :
F26B11/08
IPC分类号 :
F26B11/08  F26B5/08  F26B21/00  F26B21/12  F26B23/04  F26B25/00  F26B25/22  
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F26
干燥
F26B
从固体材料或制品中消除液体的干燥
F26B
从固体材料或制品中消除液体的干燥
F26B11/00
对无渐进运动的材料或制品进行干燥的机器或设备
F26B11/02
在运动的滚筒或其他大部分封闭容器内
F26B11/08
围绕垂直轴或微陡斜轴旋转的
法律状态
2022-05-31 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : F26B 11/08
申请日 : 20220217
2022-05-13 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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