本发明提供了一种氧化硅改性纳米金刚石磨粒及其制备方法和应用，该制备方法包括：将纳米金刚石和聚氧乙烯聚氧丙烯醚嵌段共聚物分散于无水乙醇中，超声，搅拌过夜；加入水和氨水，升温，将配制好的正硅酸四乙酯‑乙醇溶液滴加至混合液中，继续反应；离心，洗涤，过夜干燥即可；本发明的氧化硅改性纳米金刚石磨粒抛光液应用于氧化锆陶瓷的化学机械抛光时，相比于原始金刚石磨粒，通过氧化硅与氧化锆陶瓷的固相化学反应，产生较软的水化层，再结合金刚石的机械磨削作用，即通过结合氧化硅的化学腐蚀作用和金刚石的机械磨削作用，在有效降低陶瓷工件的表面粗糙度的同时，材料去除率同比增加最高达140％，从而实现了较佳的化学机械抛光性能。