基于激光辐照的DLC-纳米金刚石复合涂层制备方法
授权
摘要
一种基于激光辐照的DLC‑纳米金刚石复合涂层制备方法,包括:对纳米金刚石涂层表面进行预处理;将飞秒激光光束聚焦在预处理后的纳米金刚石涂层表面晶粒顶端,进行飞秒激光刻蚀扫描处理,将纳米金刚石涂层表层纳米金刚石团簇原位诱变为类金刚石;3)对类金刚石‑纳米金刚石复合涂层进行后处理。本发明不仅能够在纳米金刚石涂层表面制备类金刚石薄膜,同时大幅改善类金刚石‑纳米金刚石复合涂层的表面粗糙度,具有显著增益效果。本发明获得的类金刚石‑纳米金刚石复合涂层的表面粗糙度大幅降低,在摩擦过程中可显著降低摩擦副的摩擦系数和对磨面的磨损量。本发明的制备方法工艺简单,成本低廉,非常适合于干摩擦及水润滑工况。
基本信息
专利标题 :
基于激光辐照的DLC-纳米金刚石复合涂层制备方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN112647063A
申请号 :
CN202011372926.5
公开(公告)日 :
2021-04-13
申请日 :
2020-11-30
授权号 :
CN112647063B
授权日 :
2022-06-07
发明人 :
崔雨潇郭平马家豪戚厚军
申请人 :
天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)
申请人地址 :
天津市河西区大沽南路1310号
代理机构 :
天津市北洋有限责任专利代理事务所
代理人 :
杜文茹
优先权 :
CN202011372926.5
主分类号 :
C23C16/56
IPC分类号 :
C23C16/56 C23C16/27
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积工艺
C23C16/56
后处理
法律状态
2022-06-07 :
授权
2021-04-30 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 16/56
申请日 : 20201130
申请日 : 20201130
2021-04-13 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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