一种纳米复合涂层及其制备方法与应用
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摘要

本发明公开了一种纳米复合涂层及其制备方法与应用。所述纳米复合涂层包括在基底表面依次形成的金属过渡层和CrAlSiN/Zr交替层叠层,其中所述CrAlSiN/Zr交替层叠层由CrAlSiN层和Zr层交替层叠形成,所述CrAlSiN层包括由AlSiN层和CrN层交替层叠形成的纳米多层涂层,所述金属过渡层包括Zr过渡层和/或Cr过渡层。本发明提供的纳米复合涂层中的“层中层”结构,有效阻止了腐蚀介质渗入基底,提升了涂层的抗腐蚀性能,从而实现了抗摩擦腐蚀交互作用的提升;同时制备方法简单易行,可控性高,具有良好的应用前景。

基本信息
专利标题 :
一种纳米复合涂层及其制备方法与应用
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN113322434A
申请号 :
CN202110625413.9
公开(公告)日 :
2021-08-31
申请日 :
2021-06-04
授权号 :
CN113322434B
授权日 :
2022-04-19
发明人 :
王永欣汪艺璇
申请人 :
中国科学院宁波材料技术与工程研究所
申请人地址 :
浙江省宁波市镇海区庄市大道519号
代理机构 :
南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
王锋
优先权 :
CN202110625413.9
主分类号 :
C23C14/32
IPC分类号 :
C23C14/32  C23C14/16  C23C14/06  C23C14/02  
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IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
C23C14/32
爆炸法;蒸发及随后的气化物电离法
法律状态
2022-04-19 :
授权
2021-09-17 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 14/32
申请日 : 20210604
2021-08-31 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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