一种纳米晶非晶复合涂层及其制备方法
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摘要
本发明属于切削刀具加工制造技术领域，具体涉及一种纳米晶非晶复合涂层及其制备方法。本发明利用增强磁控溅射技术，制备具有纳米晶和非晶复合的AlCrSiCN涂层，该复合涂层由粒径10～50nm尺度的纳米晶和围绕纳米晶分布的非晶相构成，因此纳米尺度的晶粒保证涂层具有足够的硬度，而非晶层则具有良好的塑性，且大量的纳米晶与非晶界面可增加微裂纹扩展的阻力，故涂层具有高硬度(28～35GPa)、高韧性和优异的耐磨性能，并保持AlCrN的优异抗高温性能，使涂层具有优良的强度和结合强度，同时Si、C的掺杂一方面细化晶粒，提高强度，另一方面所形成的碳化物非晶层可进一步降低刀具的摩擦系数，降低刀具摩擦阻力。
基本信息
专利标题 ：
一种纳米晶非晶复合涂层及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN113025979A
申请号 ：
CN202110219879.9
公开（公告）日 ：
2021-06-25
申请日 ：
2021-02-26
授权号 ：
CN113025979B
授权日 ：
2022-06-03
发明人 ：
黄晓林赵文涛李景斌孙亮
申请人 ：
沈阳三聚凯特催化剂有限公司
申请人地址 ：
辽宁省沈阳市经济技术开发区细河八北街10号
代理机构 ：
北京三聚阳光知识产权代理有限公司
代理人 ：
周淑歌
优先权 ：
CN202110219879.9
主分类号 ：
C23C14/35
IPC分类号 ：
C23C14/35 C23C14/16 C23C14/06 B82Y30/00 B82Y40/00
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IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
C23C14/35
利用磁场的，例如磁控溅射
法律状态
2022-06-03 ：
授权
2021-07-13 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 14/35
申请日 : 20210226
申请日 : 20210226
2021-06-25 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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