一种四面体非晶碳复合涂层及其制备方法
授权
摘要

本发明公开了一种四面体非晶碳复合涂层,包括:底部结合层:为CNX薄膜;表面功能层:为高SP3碳杂化键含量的四面体非晶碳薄膜;在所述底部结合层下方设有合金基材,所述底部结合层上方设有表面功能层;其成本较低、工艺流程简单,显著提升了膜基结合强度,另外由于其具有比其他类金刚石薄膜更高的硬度,所以减磨耐磨效果更佳优良。

基本信息
专利标题 :
一种四面体非晶碳复合涂层及其制备方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN111500982A
申请号 :
CN202010390073.1
公开(公告)日 :
2020-08-07
申请日 :
2020-05-09
授权号 :
CN111500982B
授权日 :
2022-04-22
发明人 :
毛昌海祖全先
申请人 :
艾瑞森表面技术(苏州)股份有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市昆山市陆家镇金阳东路28号
代理机构 :
苏州华博知识产权代理有限公司
代理人 :
徐典
优先权 :
CN202010390073.1
主分类号 :
C23C14/06
IPC分类号 :
C23C14/06  C23C14/35  C23C14/02  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/06
以镀层材料为特征的
法律状态
2022-04-22 :
授权
2020-09-01 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 14/06
申请日 : 20200509
2020-08-07 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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