一种四面体非晶碳复合涂层及其制备方法
授权
摘要
本发明公开了一种四面体非晶碳复合涂层，包括：底部结合层：为CNX薄膜；表面功能层：为高SP3碳杂化键含量的四面体非晶碳薄膜；在所述底部结合层下方设有合金基材，所述底部结合层上方设有表面功能层；其成本较低、工艺流程简单，显著提升了膜基结合强度，另外由于其具有比其他类金刚石薄膜更高的硬度，所以减磨耐磨效果更佳优良。
基本信息
专利标题 ：
一种四面体非晶碳复合涂层及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111500982A
申请号 ：
CN202010390073.1
公开（公告）日 ：
2020-08-07
申请日 ：
2020-05-09
授权号 ：
CN111500982B
授权日 ：
2022-04-22
发明人 ：
毛昌海祖全先
申请人 ：
艾瑞森表面技术（苏州）股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市昆山市陆家镇金阳东路28号
代理机构 ：
苏州华博知识产权代理有限公司
代理人 ：
徐典
优先权 ：
CN202010390073.1
主分类号 ：
C23C14/06
IPC分类号 ：
C23C14/06 C23C14/35 C23C14/02
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/06
以镀层材料为特征的
法律状态
2022-04-22 ：
授权
2020-09-01 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 14/06
申请日 : 20200509
申请日 : 20200509
2020-08-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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