本实用新型提供超硬纳米复合涂层的制备PVD设备。本实用新型提供了超硬纳米复合涂层的制备PVD设备，其通过总供电线路供电，复合PVD设备包括：一个壳体、一个工件架、一个离子源、一个分子泵、一个阴极电弧金属镀膜模块、一个阴极磁控溅射金属镀膜模块、一个阴极电弧石墨镀膜模块、一个阴极磁控溅射石墨镀膜模块。该PVD设备在一个真空镀膜室内集成多个磁控阴极、电弧阴极以及离子源，实现多种镀膜工艺集成，从而可以开发多种膜层复合的新型涂层材料。