一种刀具用梯度纳米涂层、制备设备及方法
实质审查的生效
摘要

本发明公开了一种刀具用梯度纳米涂层、制备设备及方法,涉及刀具表面强化领域,包括结合力层、过渡层和纳米复合层,所述结合力层、过渡层和纳米复合层依次沉积在刀具基材表面;所述结合力层材料为Ti,所述过渡层材料为TiN,所述纳米复合层材料为TiAlSiN;沉积方法包括:刀具预清洗、刀具装样、靶材安装、抽真空、刀具离子清洗、刀具表面活化、结合力层制备、过渡层制备和纳米复合层制备。本发明的优点在于:提出了一种结构设计为结合力层、过渡层和超硬且韧纳米涂层的刀具梯度涂层,并基于上述涂层提出一种能实现高效率制备刀具用超硬且韧纳米涂层沉积速率快,操作简便、成本低的沉积技术。

基本信息
专利标题 :
一种刀具用梯度纳米涂层、制备设备及方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114381689A
申请号 :
CN202210020692.0
公开(公告)日 :
2022-04-22
申请日 :
2022-01-10
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
欧伊翔
申请人 :
欧伊翔
申请人地址 :
北京市海淀区清华园1号清华大学博士后2016
代理机构 :
苏州汇智联科知识产权代理有限公司
代理人 :
高文献
优先权 :
CN202210020692.0
主分类号 :
C23C14/06
IPC分类号 :
C23C14/06  C23C14/02  C23C14/16  C23C14/35  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/06
以镀层材料为特征的
法律状态
2022-05-10 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 14/06
申请日 : 20220110
2022-04-22 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
  • 联系电话
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 联系 Q Q
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 关注微信
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 收藏
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332