一种抗氧化、耐磨减摩的梯度纳米金属涂层及其制备方法
实质审查的生效
摘要
本发明涉及中高温氧化与自润滑领域，特别提供一种抗氧化、耐磨减摩的梯度纳米金属涂层及其制备方法。利用溅射特性，通过在磁控溅射镀膜过程中实时调整温度和真空度，可由单一靶材，不借助其他工艺，一步获得晶粒尺寸从表面到内部呈梯度分布的纳米金属涂层。本发明涂层制备工艺简单，适用但不限于普通碳钢、合金钢、轴承钢、铜基、钛基、钴基或镍基高温合金，可用于耐400℃以上航空发动机、燃气轮机、航天飞行器动力系统内的高温轴承与衬套等一类在高温环境下服役的传动部件。基于纳米结构促进Al和Cr的选择性氧化、提高表面硬度、促进氧化物釉质层化的特点，使得该涂层兼具耐中高温氧化、耐磨损和自润滑等优异的综合性能。
基本信息
专利标题 ：
一种抗氧化、耐磨减摩的梯度纳米金属涂层及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114318263A
申请号 ：
CN202111622161.0
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2021-12-28
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
孙文瑶陈明辉王群昌王金龙周文王福会
申请人 ：
东北大学
申请人地址 ：
辽宁省沈阳市浑南区创新路195号
代理机构 ：
沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
陈曦
优先权 ：
CN202111622161.0
主分类号 ：
C23C14/35
IPC分类号 ：
C23C14/35 C23C14/02 C23C14/16
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
C23C14/35
利用磁场的，例如磁控溅射
法律状态
2022-04-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 14/35
申请日 : 20211228
申请日 : 20211228
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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