AlCrSiN/AlCrN/AlCrON/AlCrN多层...
授权
摘要
本发明公开了一种AlCrSiN/AlCrN/AlCrON/AlCrN多层纳米复合涂层的制备工艺，属于复合涂层制备技术领域。该工艺采用电弧离子镀膜技术镀膜，靶材选取金属Cr靶、AlCr靶、AlCrSi靶。镀膜前先通入氩气辉光放电清洗，随后开启Cr靶对基体表面进行离子轰击清洗，然后沉积CrN过渡层，最后通入氮气和氧气作为反应气体，交替开启AlCrSi靶和AlCr靶，依次往复沉积AlCrSiN层、AlCrN层、AlCrON层和AlCrN层。本发明制备的多层纳米复合涂层工艺简单，涂层组织结构致密、涂层与基体间结合力强，具有较高的硬度和强度，良好的耐磨损性能。
基本信息
专利标题 ：
AlCrSiN/AlCrN/AlCrON/AlCrN多层纳米复合涂层的制备工艺
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111621752A
申请号 ：
CN202010524524.6
公开（公告）日 ：
2020-09-04
申请日 ：
2020-06-10
授权号 ：
CN111621752B
授权日 ：
2022-04-12
发明人 ：
王铁钢林伟刘迁刘艳梅阎兵彭勇
申请人 ：
天津职业技术师范大学（中国职业培训指导教师进修中心）
申请人地址 ：
天津市津南区大沽南路1310号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202010524524.6
主分类号 ：
C23C14/32
IPC分类号 ：
C23C14/32 C23C14/06 C23C14/54 C23C14/02 B82Y30/00
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
C23C14/32
爆炸法；蒸发及随后的气化物电离法
法律状态
2022-04-12 ：
授权
2020-09-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 14/32
申请日 : 20200610
申请日 : 20200610
2020-09-04 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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