一种用于化学机械抛光的硅溶胶活性磨粒及制备方法
实质审查的生效
摘要

本发明公开了一种用于化学机械抛光的硅溶胶活性磨粒,所述硅溶胶磨粒具有非球状外形,且所述硅溶胶磨粒包含具有化学活性的二氧化锰化合物。本发明提供的一种用于化学机械抛光的硅溶胶活性磨粒及制备方法,该硅溶胶磨粒具有非球状外形,且外表面包含具有化学活性的二氧化锰化合物;可以显著提高蓝宝石的抛光效率。

基本信息
专利标题 :
一种用于化学机械抛光的硅溶胶活性磨粒及制备方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114525108A
申请号 :
CN202210153149.8
公开(公告)日 :
2022-05-24
申请日 :
2022-02-18
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
雷红陈怡张佰春董越雷逸凡杨小强周代圆陈巍巍
申请人 :
太仓硅源纳米材料有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市太仓市浮桥镇浏家港协鑫西路26-1号
代理机构 :
北京盛凡佳华专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
张丽娜
优先权 :
CN202210153149.8
主分类号 :
C09K3/14
IPC分类号 :
C09K3/14  C09G1/02  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C09
染料;涂料;抛光剂;天然树脂;黏合剂;其他类目不包含的组合物;其他类目不包含的材料的应用
C09K
不包含在其他类目中的各种应用材料;不包含在其他类目中的材料的各种应用
C09K3/00
不包含在其他类目中的材料
C09K3/14
防滑材料;研磨材料
法律状态
2022-06-10 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C09K 3/14
申请日 : 20220218
2022-05-24 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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