本发明公开了一种光束孔调节装置，涉及光学或带电粒子束光学领域，包括底座，具有通孔；底座与第一直线驱动源连接以能沿X方向移动；主动模块，固定在底座上；主动模块具有第一柔性形变部，第一柔性形变部与第二直线驱动源连接以能沿Y方向产生形变；和从动模块，固定在底座上；从动模块具有与第一柔性形变部侧边接触的第二柔性形变部，第二柔性形变部上开设有光束孔，且光束孔能够与通孔连通；第一直线驱动源驱使底座运动完成光束孔向X方向移动，第二直线驱动源驱使第一柔性形变部形变以使得第二柔性形变部在Y方向产生形变；通过以上结构设置，减少了传统传动机构带来的误差影响，本方案有效的保障并提高了运动可重复性。