封装器件水汽入侵路径检测方法及装置

授权

摘要

本发明公开了一种封装器件水汽入侵路径检测方法及装置，该方法包括：基于预设示踪剂对待测封装器件进行水汽示踪标记，获取示踪标记样品；对所述示踪标记样品进行二次离子质谱分析，获取示踪标记样品的示踪剂强度；根据所述示踪剂强度确定水汽入侵的路径和速度。本发明通过预设示踪剂与二次离子质谱结合，对封装器件的水汽入侵路径及速度进行检测，有利于提高水汽入侵的动态检测精度，从根本上提升封装器件的防潮可靠性。

基本信息

专利标题：

封装器件水汽入侵路径检测方法及装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN114216954A

申请号：

CN202210164278.7

公开（公告）日：

2022-03-22

申请日：

2022-02-22

授权号：

CN114216954B

授权日：

2022-05-20

发明人：

廖金枝朱雷张兮乔明胜华佑南李晓旻

申请人：

胜科纳米（苏州）股份有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区09栋507室

代理机构：

北京品源专利代理有限公司

代理人：

刘臣刚

优先权：

CN202210164278.7

主分类号：

G01N27/62

IPC分类号：

G01N27/62 G01N15/08