一种CIS玻璃罩的减薄方法
公开
摘要
本发明涉及CIS晶圆加工领域，具体的是一种CIS玻璃罩的减薄方法，S1、在CIS玻璃罩的一侧通过粘着剂键合玻璃载板，通过蚀刻保护胶对CIS玻璃罩和玻璃载板进行保护，露出CIS玻璃罩的待减薄一侧；S2、通过含氟电浆蚀刻CIS玻璃罩使其减薄并去除蚀刻保护胶，得到超薄CIS玻璃罩；S3、在超薄CIS玻璃罩表面进行CV制程；S4、完成CV制程后，键合CIS晶圆正面并对CIS晶圆背面进行减薄，完成正常封装流程；S5、将超薄CIS玻璃罩和玻璃载板进行解键合，去除玻璃载板。本发明在工作过程中超薄玻璃与玻璃载板能够暂时性贴合，起到整面性保护的目的，避免使用胶带保护，同时，能够有效防止制程中超薄玻璃弯曲，避免造成浪费。
基本信息
专利标题 ：
一种CIS玻璃罩的减薄方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114573239A
申请号 ：
CN202210168385.7
公开（公告）日 ：
2022-06-03
申请日 ：
2022-02-23
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
周旭李居知李华
申请人 ：
苏州轩创科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市吴江区东太湖生态旅游度假区(太湖新城)简村路100号智慧信息产业园6-610
代理机构 ：
北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
童杨益
优先权 ：
CN202210168385.7
主分类号 ：
C03C15/00
IPC分类号 ：
C03C15/00 H01L27/146
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C03
玻璃；矿棉或渣棉
C03C
玻璃、釉或搪瓷釉的化学成分；玻璃的表面处理；由玻璃、矿物或矿渣制成的纤维或细丝的表面处理；玻璃与玻璃或与其他材料的接合
C03C15/00
纤维和丝之外的蚀刻法玻璃表面处理
法律状态
2022-06-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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