本发明公开了一种乙硼烷混合气体的制备系统及其制备方法，涉及乙硼烷混合气体的制备系统及其制备方法的技术领域。所述制备系统包括乙硼烷气瓶、充气主管线、真空系统、低温冷阱和控温充气装置，所述乙硼烷气瓶通过气管一连接至充气主管线，所述低温冷阱内放置回收气瓶，所述回收气瓶通过气管二连接至充气主管线，所述控温充气装置内放置若干目标充装气瓶，每个所述目标充装气瓶通过气管三连接至充气主管线，所述气管一与充气主管线之间连接处通过真空管线连接至真空系统。在制备乙硼烷混合气体的过程中，使用低温液体对混合气体进行降温，能够显著提高乙硼烷混合气体的制备效率并且能够消除温度对乙硼烷稳定性的影响，能够循环利用。