一种乙硼烷尾气处理装置

授权

摘要

本实用新型公开了一种乙硼烷尾气处理装置，包括乙硼烷尾气供给单元、脱氧水供给单元、吸收塔、吸收液储槽以及循环泵，吸收塔具有靠近其下端的进气口、靠近其上端的进液口以及设于底部的排液口，吸收塔的排液口和脱氧水供给单元连接循环泵的输入端，吸收塔的进液口和吸收液储槽连接循环泵的输出端，还包括惰性气体供给单元和气体混合单元，乙硼烷尾气供给单元和惰性气体供给单元连接至气体混合单元的入口，气体混合单元的出口与吸收塔的进气口连接。本实用新型公开的乙硼烷尾气处理装置，利用惰性气体对乙硼烷尾气进行稀释，降低与水反应的剧烈程度，尾气处理过程反应易控制。

基本信息

专利标题：

一种乙硼烷尾气处理装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921793356.X

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-10-24

授权号：

CN210905638U

授权日：

2020-07-03

发明人：

金向华齐相前许军州王新喜孙猛王亚亮

申请人：

苏州金宏气体股份有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市相城区黄埭镇潘阳工业园安民路6号

代理机构：

苏州翔远专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

姚惠菱

优先权：

CN201921793356.X

主分类号：

B01D53/78

IPC分类号：

B01D53/78 B01D53/46 B01D53/96