一种潜望式集成光路的装调方法
实质审查的生效
摘要
本申请提供了一种潜望式集成光路的装调方法,通过对中心偏差测量仪的载物台进行校准,以将中心偏差测量仪对应的第一光轴的方向调整至第一预设方向;放置标准反射镜在中心偏差测量仪的预设位置上,通过校准后的中心偏差测量仪调整标准反射镜,以使标准反射镜将第一预设方向的入射光线反射至与第一预设方向垂直的第二预设方向;放置平面反射镜在标准反射镜的一侧,调整平面反射镜,以使平面反射镜将标准反射镜沿第二预设方向反射出的光线,沿第一预设方向反射至中心偏差测量仪的载物台上,以实现对潜望式集成光路中所有光学器件的安装角度的装调。
基本信息
专利标题 :
一种潜望式集成光路的装调方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114545645A
申请号 :
CN202210186417.6
公开(公告)日 :
2022-05-27
申请日 :
2022-02-28
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
李星辰武震郭春华王东海
申请人 :
北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)
申请人地址 :
北京市北京经济技术开发区泰河三街1号
代理机构 :
北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
孙海杰
优先权 :
CN202210186417.6
主分类号 :
G02B27/62
IPC分类号 :
G02B27/62 G02B27/30
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B27/00
不能分入G02B 1/00-G02B 26/00,G02B 30/00的其它光学系统或其它光学仪器
G02B27/62
组装光学系统过程中专用于调节光学元件的光学仪器
法律状态
2022-06-14 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G02B 27/62
申请日 : 20220228
申请日 : 20220228
2022-05-27 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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