一种深紫外的显微镜成像物镜及其可见光装校方法和结构
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种深紫外的显微镜成像物镜及其可见光装校方法和结构;本发明其和筒镜配合使用,与筒镜分立在光瞳两侧;其等效数值孔径为0.75~0.85,工作波长为190~200 nm,等效焦距为3‑8mm,放大率为100‑200倍,成像于无穷远;其由沿着光轴顺序排列的6片球面镜片组成:第一、二、三、四、五和六镜片,其中第一、二、四、六镜片为正透镜,第三、五镜片为负透镜。本发明的物镜可以应用于半导体集成电路带图形硅片的缺陷检测,其检测缺陷的分辨率可以达到58~64纳米或者更小。此外本发明还通过增加一片筒镜,实现镜片装校在可见光波段进行,大大降低装校的难度与紫外光泄露等危险性。
基本信息
专利标题 :
一种深紫外的显微镜成像物镜及其可见光装校方法和结构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114415361A
申请号 :
CN202210186969.7
公开(公告)日 :
2022-04-29
申请日 :
2022-02-28
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
伍强李艳丽刘显和
申请人 :
复旦大学
申请人地址 :
上海市杨浦区邯郸路220号
代理机构 :
上海正旦专利代理有限公司
代理人 :
王洁平
优先权 :
CN202210186969.7
主分类号 :
G02B21/02
IPC分类号 :
G02B21/02 G02B21/16 G02B21/00 G02B13/00 G02B13/14 G02B1/113
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B21/00
显微镜
G02B21/02
物镜
法律状态
2022-05-20 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G02B 21/02
申请日 : 20220228
申请日 : 20220228
2022-04-29 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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