可调节反射式光学物镜装调系统
发明专利申请公布后的驳回
摘要
一种可调节反射式光学物镜装调系统,包括三组调节器组件[2]、物镜[3]、传感器[21]、由AD转换卡[23],单片机[24],DA转换卡[25],伺服放大器[26]组成的控制器[22]。传感器[21]发送来的模拟信号,首先到达AD转换卡[23]转换后,输送到单片机[24],单片机[24]计算出物镜[3]的实际位置和倾角,并通过与目标位置和倾角进行对比,计算出调节器组件[2]需要的调节参数,上述参数经DA转换卡[25]转换后,输出到伺服放大器[26],伺服放大器[26]将参数放大后传输给调节器组件[2],使调节器组件[2]产生相应的直线运动,驱动物镜[3]到达新位置。同时调节三组调节杆[13],可改变物镜[3]的高度和倾角;同时调节三个径向调节器[15],可改变物镜中心在水平面内位置,使同一装夹装置适用于不同直径的物镜。
基本信息
专利标题 :
可调节反射式光学物镜装调系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN101004555A
申请号 :
CN200610011198.9
公开(公告)日 :
2007-07-25
申请日 :
2006-01-16
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
朱涛李艳秋
申请人 :
中国科学院电工研究所
申请人地址 :
100080北京市海淀区中关村北二条6号
代理机构 :
北京科迪生专利代理有限责任公司
代理人 :
关玲
优先权 :
CN200610011198.9
主分类号 :
G03F7/20
IPC分类号 :
G03F7/20 G02B26/08
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2011-09-14 :
发明专利申请公布后的驳回
号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101183764645
IPC(主分类) : G03F 7/20
专利申请号 : 2006100111989
公开日 : 20070725
号牌文件序号 : 101183764645
IPC(主分类) : G03F 7/20
专利申请号 : 2006100111989
公开日 : 20070725
2008-11-05 :
实质审查的生效
2007-07-25 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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