一种用于晶圆清洗后烘干处理装置
公开
摘要
本发明公开了一种用于晶圆清洗后烘干处理装置，包括：一夹具，用于夹持所述晶圆；一供气机构；一烘干单元，其包括两个烘干组，两个烘干组沿所述晶圆的轴线布置于所述晶圆的两侧；所述烘干组包括：一第一供气件，其内设有第一供气腔，所述第一供气件上设有多个第一出气孔，多个所述第一出气孔均与所述第一供气腔连通，多个所述第一出气孔朝向所述晶圆；其中，所述第一供气腔与所述供气机构连通。在利用夹具夹持好清洗后的晶圆后，利用供气机构箱第一供气腔内通入高温气体，经过第一出气孔，对晶圆进行烘干处理。可以对晶圆的两个表面同时进行烘干处理，效率高。
基本信息
专利标题 ：
一种用于晶圆清洗后烘干处理装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114562874A
申请号 ：
CN202210200176.6
公开（公告）日 ：
2022-05-31
申请日 ：
2022-03-02
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
龚正致廖世容沈琪良
申请人 ：
浙江光特科技有限公司
申请人地址 ：
浙江省绍兴市越城区群贤路与中兴大道东南角一楼107室
代理机构 ：
南京普睿益思知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
何薇
优先权 ：
CN202210200176.6
主分类号 ：
F26B21/00
IPC分类号 ：
F26B21/00 F26B25/00
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F26
干燥
F26B
从固体材料或制品中消除液体的干燥
F26B
从固体材料或制品中消除液体的干燥
F26B21/00
干燥固体材料或制品用的空气或气体的供应或控制装置
法律状态
2022-05-31 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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