声驱动磁电天线及其制备方法
公开
摘要
本发明揭示了一种声驱动磁电天线及其制备方法，所述磁电天线从下向上依次包括衬底、第一电极层及磁电异质结构，所述磁电异质结构从下向上依次包括压电层、磁致伸缩复合层、导电层及第一高k值薄膜层，所述磁致伸缩复合层至少包括位于压电层上且作为第二电极层的磁致伸缩薄膜层，所述磁电天线形成有至少两个复合体声波谐振器的级联结构，所述复合体声波谐振器为磁电效应谐振器，包括薄膜体声波谐振器和/或高次谐波体声波谐振器。本发明的声驱动磁电天线利用了谐振器的薄膜厚度差异和衬底位置分布差异实现多个复合体声波谐振器级联，多个谐振器的谐振模态以微小频移形成磁电天线S21传输系数带宽增强，具有小尺寸、宽带和阻抗匹配可调节等优点。
基本信息
专利标题 ：
声驱动磁电天线及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114566792A
申请号 ：
CN202210205115.9
公开（公告）日 ：
2022-05-31
申请日 ：
2022-03-02
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
云小凡林文魁张宝顺曾中明
申请人 ：
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请人地址 ：
江苏省苏州市工业园区若水路398号
代理机构 ：
苏州三英知识产权代理有限公司
代理人 ：
周仁青
优先权 ：
CN202210205115.9
主分类号 ：
H01Q1/38
IPC分类号 ：
H01Q1/38 H01Q19/10
法律状态
2022-05-31 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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