一种具有姿态校正功能且校正电极外置的微机械陀螺结构
实质审查的生效
摘要

本发明涉及微机械振动陀螺,具体是一种具有姿态校正功能且校正电极外置的微机械陀螺结构。本发明解决了现有微机械振动陀螺姿态误差较大的问题。一种具有姿态校正功能且校正电极外置的微机械陀螺结构,包括玻璃基底、电极部分、谐振子部分;所述电极部分包括键合于玻璃基底上表面的正方形电极层;所述谐振子部分包括键合于玻璃基底上表面的圆柱状中心锚点、置放于玻璃基底上表面的圆环状谐振质量、八根围绕圆柱状中心锚点的轴线等角距分布的轮辐状弹性支撑悬梁、八根围绕圆柱状中心锚点的轴线等角距分布的轮辐状弹性延伸悬梁。本发明适用于武器制导、航空航天、生物医学、消费品电子等领域。

基本信息
专利标题 :
一种具有姿态校正功能且校正电极外置的微机械陀螺结构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114543781A
申请号 :
CN202210205949.X
公开(公告)日 :
2022-05-27
申请日 :
2022-03-04
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
曹慧亮刘俊唐军石云波申冲王瑾
申请人 :
中北大学
申请人地址 :
山西省太原市尖草坪区学院路3号
代理机构 :
太原新航路知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
王勇
优先权 :
CN202210205949.X
主分类号 :
G01C19/5656
IPC分类号 :
G01C19/5656  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01C
测量距离、水准或者方位;勘测;导航;陀螺仪;摄影测量学或视频测量学
G01C19/00
陀螺仪;使用振动部件的转动敏感装置;不带有运动部件的转动敏感装置;使用陀螺效应测量角速率
G01C19/56
使用振动部件的转动敏感装置,例如基于科里奥利力的振动角速度传感器
G01C19/5642
使用振动条或振动梁
G01C19/5656
包含微机械结构的装置
法律状态
2022-06-14 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01C 19/5656
申请日 : 20220304
2022-05-27 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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