一种高通量XPS设备、检测方法及应用
公开
摘要
本发明属于XPS设备技术领域，公开了一种高通量XPS设备、检测方法及应用，利用高束流X射线进行样品照射结合环形能量分析器收集从样品激发出的光电子，通过数据采集系统将测试数据转化为XPS谱图，基于所述XPS谱分析得到检测结果。本发明提供了一种圆台型高束流X射线源，从圆台型阳极靶侧面掠角出射方向为最强分布，并汇聚于一点/经单色仪汇聚X射线于一点，极大提升了X射线源的亮度，进而可提高样品中光电子的出射数量。此外，环形能量分析器在不改变探测角度情况下极大地增加了电子收集效率。本发明提供的高通量XPS设备可用于集成电路等工业产线，用于生产过程中快速检测材料表面成分、价带、能带等表面信息。
基本信息
专利标题 ：
一种高通量XPS设备、检测方法及应用
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114594121A
申请号 ：
CN202210212104.3
公开（公告）日 ：
2022-06-07
申请日 ：
2022-03-04
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
董红冯泽
申请人 ：
南开大学
申请人地址 ：
天津市津南区海河教育园区同砚路38号
代理机构 ：
北京金智普华知识产权代理有限公司
代理人 ：
张晓博
优先权 ：
CN202210212104.3
主分类号 ：
G01N23/2273
IPC分类号 ：
G01N23/2273
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N23/00
利用波或粒子辐射来测试或分析材料，例如未包括在G01N3/00-G01N17/00、G01N 21/00 或G01N 22/00中的X射线或中子
G01N23/22
通过测量材料的二次发射
G01N23/227
测量光电效应，例如，光电子发射显微镜
G01N23/2273
测量光电子光谱，例如用于化学分析的电子光谱或X射线光电子能谱
法律状态
2022-06-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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