热传导测量仪和测量气压的方法
公开
摘要
本发明涉及热传导测量仪和测量气压的方法。热传导测量仪对腔室内的气压进行测量。传感器线和电阻器形成联接在功率输入端与地之间的电路，其中，传感器线延伸进入腔室中并且经由端子连接至电阻器。控制器根据端子处的电压和功率输入端处的电压来调节功率输入，以使传感器线达到目标温度。基于调节后的功率输入，控制器可以确定腔室内的气压的度量值。
基本信息
专利标题 ：
热传导测量仪和测量气压的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114577392A
申请号 ：
CN202210214855.9
公开（公告）日 ：
2022-06-03
申请日 ：
2019-02-25
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
G·A·布鲁克T·C·斯文尼
申请人 ：
万机仪器公司
申请人地址 ：
美国马萨诸塞州
代理机构 ：
北京三友知识产权代理有限公司
代理人 ：
王万影
优先权 ：
CN202210214855.9
主分类号 ：
G01L21/12
IPC分类号 ：
G01L21/12 G01L21/10 G01L9/02 G01L9/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L21/00
真空计
G01L21/10
通过测量介质热导率的变化而测出介质压力的
G01L21/12
检测测量元件电阻变化的，例如，细丝的电阻变化的；皮拉尼型真空计
法律状态
2022-06-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
