锁紧机构及加工设备
公开
摘要
本申请涉及半导体加工设备技术领域，尤其涉及一种锁紧机构及加工设备，锁紧机构包括卡接部和锁紧组件，卡接部与基座和待锁紧件两者之中的第一者连接，使卡接部与第一者之间形成有沿第一延伸方向延伸的缝隙；锁紧组件沿第一延伸方向延伸，锁紧组件的部分设置于缝隙，锁紧组件与基座和待锁紧件两者之中的第二者连接，锁紧组件被设置为能够相对于第二者运动，使得部分与卡接部抵接，以将基座和待锁紧件两者锁紧。根据本申请提供的锁紧机构及加工设备，通过锁紧组件被设置为能够相对于第二者运动，实现基座和待锁紧件两者锁紧和松开，有效地缩短了基座和待锁紧件两者的完成锁紧动作和松脱动作需要耗费的时间，提高基座和待锁紧件两者装卸效率。
基本信息
专利标题 ：
锁紧机构及加工设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114562498A
申请号 ：
CN202210221747.4
公开（公告）日 ：
2022-05-31
申请日 ：
2022-03-09
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
李龙飞杨师梅阳侯得锋李海彬
申请人 ：
北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请人地址 ：
北京市北京经济技术开发区泰河三街1号
代理机构 ：
北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
宋家会
优先权 ：
CN202210221747.4
主分类号 ：
F16B1/02
IPC分类号 ：
F16B1/02 F16F15/08
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F16
工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热
F16B
紧固或固定构件或机器零件用的器件，如钉、螺栓、簧环、夹、卡箍或楔；连接件或连接
F16B
紧固或固定构件或机器零件用的器件，如钉、螺栓、簧环、夹、卡箍或楔；连接件或连接
F16B1/00
将构件或机器零件固定在一起或防止它们之间发生相对运动的装置
F16B1/02
操作后固定机构元件用的装置
法律状态
2022-05-31 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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