一种高纯四氟化硅裂解反应器，涉及四氟化硅制备技术领域。高纯四氟化硅裂解反应器包括反应器本体，由柱形侧壁、半球形底壁和顶壁围成，半球形底壁上开设有排污口，排污口上盖设有与半球形底壁配合的曲形挡板；加热装置，设置在侧壁的外侧；刮刀组件，连接至顶壁；刮刀组件包括竖直伸缩机构、对称设置在竖直伸缩杆两侧且的支撑杆，以及连接至支撑杆的多个半圆刮刀，半圆刮刀的外径、柱形侧壁内径和半球形底壁的内径相同；清洗组件；污垢收集箱，连接至半球形底壁；数据终端，连接至刮刀组件、清洗组件、反应器本体和加热装置。上述高纯四氟化硅裂解反应器能够在不拆卸裂解反应器的情况下对裂解反应器内部进行清洗，并且通过高压水彻底排污。