一种ITO旋转靶的冷等静压模具及预制成型方法
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种ITO旋转靶的冷等静压模具,旨在实现ITO旋转靶烧结前的预制成型;其技术方案:包括:下模座、上模座、以可拆的方式固定连接在下模座、上模座之间的芯轴;下模座上设有第一凸台,上模座上设有第二凸台;第一凸台上设有第一凹槽,第二凸台上设有与第一凹槽对应的第二凹槽,芯轴的一端通过第一锁紧件锁紧在第一凹槽内、另一端通过第二锁紧件锁紧在第二凹槽内;还包括一弹性套体,其两端分别通过第三锁紧件锁紧在第一凸台、第二凸台的侧边上;下模座、上模座、弹性套体、芯轴四者之间形成容纳ITO粉末的密封的腔室;还提供一种ITO旋转靶的预制成型方法,属于靶材加工技术领域。
基本信息
专利标题 :
一种ITO旋转靶的冷等静压模具及预制成型方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114523551A
申请号 :
CN202210225986.7
公开(公告)日 :
2022-05-24
申请日 :
2022-03-07
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
郭庆生陈曦朱刘钟小华
申请人 :
先导薄膜材料(广东)有限公司
申请人地址 :
广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号A区
代理机构 :
清远市清城区诺誉知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
龚元元
优先权 :
CN202210225986.7
主分类号 :
B28B3/00
IPC分类号 :
B28B3/00 B28B7/00
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B28
加工水泥、黏土或石料
B28B
黏土或其他陶瓷成分的成型;熔渣的成型;含有水泥材料的混合物的成型,例如灰浆
B28B3/00
使用压力机由材料生产成型制品;及其专用压力机
法律状态
2022-06-10 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B28B 3/00
申请日 : 20220307
申请日 : 20220307
2022-05-24 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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