本申请涉及一种行星轮系用高精度内齿轮加工方法，涉及齿轮加工的领域，其包括以下步骤：毛坯选择，选择合适材料的金属作为毛坯；毛坯热处理，对毛坯进行等温退火热处理；车削粗加工，对毛坯进行车削粗加工，得到所需尺寸的内齿轮毛坯；调质处理，对车削粗加工得到的内齿轮毛坯进行调质热处理；拉削精加工，通过拉削设备对内齿轮毛坯进行拉削内齿精加工，初步得到工件；气体渗碳处理，对拉削精加工后的工件进行气体渗碳处理；研磨，对工件的表面进行研磨加工；抛光，对工件的表面进行抛光处理；检测，对成品进行质量检测。本申请提高了内齿轮的强度和韧性等性能，内齿轮的精度不会受到热处理的变形影响，保障内齿轮良好的加工精度。