本发明涉及一种湿式清洗机台、过滤器及其清洗方法，过滤器包括：外壳、滤芯以及气体吹扫件。滤芯设置于外壳的内部，滤芯内部设有第一流道，滤芯的外壁面与外壳的内壁面间隔设置配合形成第二流道。气体吹扫件设置于第一流道和/或第二流道的内部，气体吹扫件用于通入带压气体，并将气体喷向第一流道的壁面和/或滤芯的外壁面。上述的过滤器，在使用一段时间后需要对其滤芯进行清洁工作时，将带压气体通入到气体吹扫件，气体吹扫件相应将气体喷向第一流道的壁面和/或滤芯的外壁面，从而便能清除滤芯上的被清洁物，对滤芯能有效清洁，保证滤芯的过滤效果，提高滤芯的使用寿命，进而提高制程药液品质。